[发明专利]样品制备方法、样品检测方法及样品检测系统在审
| 申请号： | 202110987434.5 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN113916919A | 公开（公告）日： | 2022-01-11 |
| 发明（设计）人： | 刘婧;姜有东 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/2202 | 分类号： | G01N23/2202;G01N23/2251;G01N23/20008;G01N23/203;G01N23/20 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;杨思雨 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请公开了一种样品制备方法、样品检测方法及样品检测系统。该样品制备方法包括：制备初级结构，初级结构包括待检测薄膜以及覆盖在待检测薄膜的双侧表面的保护层；在反应室中，采用反应物去除保护层，以获得待检测结构；以及将待检测结构从反应室转移至用于测试待检测结构的样品分析室，样品分析室中不包括与待检测结构发生化学反应的物质。该样品制备方法有利于提高样品质量，从而有利于样品测试。 | ||
| 搜索关键词： | 样品 制备 方法 检测 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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