[发明专利]掩模和掩模制造方法在审
| 申请号： | 202110986486.0 | 申请日： | 2021-08-26 |
| 公开（公告）号： | CN114182200A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 金辉;金桢国;郑茶姬;宋昇勇;李娥凜;秋惠容;黄圭焕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56;B23K26/38;B23K26/36 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 郭艳芳;康泉 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种掩模和掩模制造方法。掩模制造方法包括：准备掩模片和框架；拉伸掩模片，并且将拉伸后的掩模片固定到框架；以及在固定到框架的掩模片中形成单元开口。 | ||
| 搜索关键词： | 制造 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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