[发明专利]一种真空镀膜单体机工件架在审
申请号: | 202110957198.2 | 申请日: | 2021-08-19 |
公开(公告)号: | CN113699500A | 公开(公告)日: | 2021-11-26 |
发明(设计)人: | 吴子敬 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/34 |
代理公司: | 北京维正专利代理有限公司 11508 | 代理人: | 赵保迪 |
地址: | 102600 北京市大兴区北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本申请涉及镀膜机技术领域,尤其是涉及一种真空镀膜单体机工件架,其技术方案要点是:包括水平设置的主转盘、用于驱动主转盘围绕自身轴线定轴转动的主盘驱动机构、同轴设置在主转盘的上方的中心轴齿轮以及用于驱动中心轴齿轮围绕自身轴线定轴转动的中心驱动机构,中心轴齿轮上啮合有多个行星轴齿轮,行星轴齿轮上同轴固定有转动连接于主转盘上的行星轴;达到了提高板状类工件的镀膜精度的目的。 | ||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 单体 机工 | ||
【主权项】:
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