[发明专利]一种声表面波滤波器的叉指换能器的制作方法在审
| 申请号： | 202110858962.0 | 申请日： | 2021-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN113726302A | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 王进川;林志东;王信棋;尤建发 | 申请（专利权）人： | 厦门市三安集成电路有限公司 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H03H9/02 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 连耀忠 |
| 地址： | 361000 福建省厦门*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种声表面波滤波器的叉指换能器的制作方法，通过在衬底背面蒸镀金属Ti形成Ti金属层，然后再在衬底的正面进行IDT制程形成IDT金属层，最后通过湿法刻蚀工艺去除Ti金属层。Ti金属层在IDT制程中不仅可以实现遮光，还具有良好的导热性能，因此可以避免黄光制程的固化过程中晶圆受热不均导致光刻胶形貌不一致，有效改善钽酸锂或铌酸锂晶圆上IDT金属层CD均匀性。并且金属Ti具有较低的热膨胀系数，散热效果好，避免晶圆衬底在黄光制程中由于受热不均产生破裂。相比于镍等其他金属，蚀刻Ti金属层生成的钛络合物不会带来环境污染，Ti金属层的去除操作安全性高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面波 滤波器 叉指换能器 制作方法 | ||
【主权项】：
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