[发明专利]一种MOCVD设备的喷淋盘结构

摘要

一种MOCVD设备的喷淋盘结构，包括喷淋盘主体、喷淋盘封盖、III族气体进气管及V族气体进气管；喷淋盘主体上表面固设有同心且沿径向方向等间距分布的环状隔板；隔板间环向空间作为III族或V族气体进气缓存腔；III族与V族气体进气缓存腔沿径向方向交替布设；III族/V族气体进气缓存腔对应的喷淋盘主体上设有若干III族/V族气体出气孔道；环状隔板与喷淋盘封盖之间通过密封圈进行密封；喷淋盘封盖上表面设有冷却管路；III族和V族气体进气管在喷淋盘主体上具有两种进气方式，分为周向进气方式和中心进气方式。本发明进一步简化了喷淋盘结构设计，结构更加简单紧凑，保证了进气均匀性，降低了喷淋盘的空间占用率，更加有利于MOCVD设备的小型化。