[发明专利]一种耐高输入光功率的硅光芯片端面耦合结构在审
申请号: | 202110797767.1 | 申请日: | 2021-07-14 |
公开(公告)号: | CN113552668A | 公开(公告)日: | 2021-10-26 |
发明(设计)人: | 马可;刘亚东;蔡鹏飞;潘栋;蘇宗一 | 申请(专利权)人: | NANO科技(北京)有限公司 |
主分类号: | G02B6/122 | 分类号: | G02B6/122;G02B6/125;G02B6/124 |
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地址: | 100000 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种耐高输入光功率的硅光芯片端面耦合结构,能够在硅基光芯片上实现高光功率输入,并多路输出,包括:端面耦合单元、第一连接单元、功率分束单元、第二连接单元、转换单元、第三连接单元。相比硅基端面耦合器,本发明能够承受更高的输入光功率;与现有的硅基半导体制作工艺兼容,易于低成本的制作和大规模生产;降低光纤与硅基光波导间的损耗;转换单元能够实现与硅基器件的耦合,且耦合损耗非常低,易于实现与硅光芯片大规模集成。 | ||
搜索关键词: | 一种 输入 功率 芯片 端面 耦合 结构 | ||
【主权项】:
暂无信息
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