[发明专利]一种面向多线激光雷达的VCSEL线性阵列在审
| 申请号： | 202110763456.3 | 申请日： | 2021-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN113589322A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 贾志伟;李丽;王安帮;赵彤;李璞;王龙生;郭园园 | 申请（专利权）人： | 太原理工大学 |
| 主分类号： | G01S17/931 | 分类号： | G01S17/931;G01S7/481 |
| 代理公司： | 太原高欣科创专利代理事务所(普通合伙) 14109 | 代理人： | 邓东东;冷锦超 |
| 地址： | 030024 *** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | 本发明涉及激光探测和半导体光电子器件技术领域，具体是一种面向多线激光雷达的VCSEL线性阵列；具体包括半导体衬底，m元呈线性阵列的垂直腔面发射激光器VCSEL，以及m元光学微透镜；m元呈线性阵列的VCSEL制备在半导体衬底正面，m元光学微透镜呈阵列设置在半导体衬底背面；m元VCSEL彼此独立且输出m路互不相干的激光信号；VCSEL与光学微透镜一一对应，光学微透镜用于将与其相对应的VCSEL发散的激光进行准直并调控出光方向，形成多线激光束；本发明实现对VCSEL输出激光束的准直和光束方向调控；能够简化激光雷达的光学扫描结构、降低激光雷达的成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 面向 激光雷达 vcsel 线性 阵列 | ||
【主权项】：
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