[发明专利]扫描电子显微镜装置和电子束检测设备在审
| 申请号： | 202110746459.6 | 申请日： | 2021-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN113471041A | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 孟庆浪;孙伟强 | 申请（专利权）人： | 中科晶源微电子技术（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/06 | 分类号： | H01J37/06;H01J37/147;H01J37/244;H01J37/28 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王益 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 提供扫描电子显微镜装置和电子束检测设备，扫描电子显微镜装置被配置成向待测样品的表面投射电子束，包括：电子束源；偏转机构；和物镜组件。偏转机构包括：第一偏转器，位于电子束源的下游；和第二偏转器，位于第一偏转器的下游。物镜组件包括：励磁线圈；和磁轭，由导磁材料形成为朝待测样品敞开的壳体，包括限定内部腔室的中空主体、和从中空主体成角度地向内朝光轴延伸的至少一个倾斜部分，所述至少一个倾斜部分的末端形成为极靴，所述励磁线圈容纳于所述内部腔室中。所述偏转机构还包括位于第二偏转器与物镜组件之间、且布置于由所述极靴限定的开口内的第三偏转器，第一、第二和第三偏转器中每个是静电偏转器。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 装置 电子束 检测 设备 | ||
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- 本发明提供了一种电子枪装置及医用直线加速器，所述电子枪装置包括：第一压紧单元、弹性单元、电子枪单元以及第二压紧单元；所述阳极设置于所述第二压紧单元上，所述阴极通过弹性单元与所述第一压紧单元连接，并与所述阳极相对设置；所述弹性单元沿所述电子枪单元的轴向设置，并为所述阴极提供轴向力，用于使所述阴极与所述阳极之间的距离保持预设值；或者，所述阳极与所述阴极固定地沿所述轴向相对设置，所述电子枪单元通过弹性单元与所述第一压紧单元连接；所述弹性单元沿所述电子枪单元的轴向设置，并为所述电子枪单元提供轴向力，用于使所述电子枪单元与所述加速管之间的距离保持预设值。如此保证电子枪装置的输出、加速管的输入的稳定性。
- 电子束引出窗及包含其的电子束发生器-202110278015.4
- 戴志敏;何子锋;周大勇;杨永金;黄建鸣;王永其;吴新时;林俊 - 中国科学院上海应用物理研究所
- 2021-03-15 - 2021-05-28 - H01J37/06
- 本发明公开了一种电子束引出窗及包含其的电子束发生器，该电子束引出窗包括：薄膜；窗体，窗体的中部设置有窗口；至少一个第一格栅单元，第一格栅单元包括第一格栅槽；至少一个第二格栅单元，第二格栅单元包括第二格栅槽，第一格栅单元与第二格栅单元间隔设置，且均位于窗口上，第二格栅单元相对于第一格栅单元沿扫描方向被配置于窗口的远端。该电子束引出窗利用了近端第一格栅槽长度短的优点，便于薄膜上的热量快速传导至窗体，同时，窗口被第一格栅单元和第二格栅单元分割，使得第二格栅槽的长度变短，有利于第二格栅单元中部的热量传导至窗体的边缘，延长薄膜及电子束引出窗的使用寿命。
- 电子枪以及电子枪的制造方法-202011165465.4
- 木村徹;井关操;小畑英幸 - 新日本无线株式会社
- 2020-10-27 - 2021-04-30 - H01J37/06
- 本发明涉及一种电子枪，其具备：阴极，其具有电子发射面，平面形状为圆形，并发射电子；加热器，其使该阴极升温；以及阳极，其对阴极施加正电位，并将电子向一定方向引出。阴极在其中心部具有沿着阴极的中心轴的通孔，在通孔的电子发射面侧的开口边缘部、以及通孔的内表面中的至少一方具有非发射层，或者通孔的电子发射面侧的开口边缘部为被倒角的C面或者被倒角的R面。
- 专利分类
