[发明专利]掩模板结构及掩模板结构的制备方法有效
| 申请号： | 202110697699.1 | 申请日： | 2021-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN113403576B | 公开（公告）日： | 2022-11-29 |
| 发明（设计）人： | 韩冰;王水俊;周丽芳;杨凯;李文星 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 成都极刻智慧知识产权代理事务所(普通合伙) 51310 | 代理人： | 唐维虎 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本申请实施例提供一种掩模板结构及掩模板结构的制备方法，通过针对对位掩模条设计异形对位部，可以使得实际对位部与张网部分形成高度差，避免对位部与待蒸镀基板进行接触而导致蒸镀对位部分不稳定，并且掩模板框架上的对位凹槽与对位部一一对应，无需针对整个对位掩模条进行整面开槽，因此开槽面积更小，从而可以提升掩模板框架的机械强度。此外，通过将异形对位部与支撑部进行连接，支撑部与掩模板框架表面形成支撑，可以保证张网过程中对位掩模条能够正常受力。 | ||
| 搜索关键词： | 模板 结构 制备 方法 | ||
【主权项】：
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