[发明专利]一种提高籽晶质量的制备装置及方法有效
申请号: | 202110691496.1 | 申请日: | 2021-06-22 |
公开(公告)号: | CN113417006B | 公开(公告)日: | 2022-11-29 |
发明(设计)人: | 张宁;杨晓俐;李加林;刘星;高超;方帅;石志强;刘家朋 | 申请(专利权)人: | 山东天岳先进科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B23/00 | 分类号: | C30B23/00;C30B29/36 |
代理公司: | 北京君慧知识产权代理事务所(普通合伙) 11716 | 代理人: | 冯妙娜 |
地址: | 250118 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本申请公开了一种提高籽晶质量的制备装置及方法,该装置包括:处理腔室,所述处理腔室内设置有坩埚,所述坩埚用于盛放原料;加热单元,所述加热单元设置在所述坩埚外围,用于使所述原料熔融成为熔融态组分并升华至所述籽晶,以修复或重构所述籽晶生长面的原子台阶;所述加热单元的上边缘不超过所述熔融态组分的液面;装载单元,所述装载单元用于装载籽晶,使所述籽晶位于所述熔融态组分的液面上方。该制备装置可以对籽晶生长面被破坏的台阶进行修复,或者在籽晶生长面重构出新的台阶,可以简单高效的控制籽晶生长面的台阶密度,即实现籽晶生长面信息的可修复或可调控,为后续生长得到超高品质的晶体奠定基础。 | ||
搜索关键词: | 一种 提高 籽晶 质量 制备 装置 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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