[发明专利]一种硅片边缘抛光装置以及方法在审
| 申请号： | 202110688126.2 | 申请日： | 2021-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN113400176A | 公开（公告）日： | 2021-09-17 |
| 发明（设计）人： | 徐全 | 申请（专利权）人： | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B29/02 | 分类号： | B24B29/02;B24B41/06;B24B57/02;B24B41/02;B24B41/04;H01L21/67;H01L21/02 |
| 代理公司： | 西安维英格知识产权代理事务所(普通合伙) 61253 | 代理人： | 李斌栋;沈寒酉 |
| 地址： | 710065 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种硅片边缘抛光装置以及方法，所述装置包括：用于吸附待边缘抛光硅片的真空吸盘；圆边抛光鼓，所述圆边抛光鼓内设置有多个抛光垫，所述多个抛光垫沿所述圆边抛光鼓内表面的周向方向呈多排环形分布，以实现当所述硅片与所述圆边抛光鼓发生相对转动时抛光所述硅片的边缘；设置在所述圆边抛光鼓中心位置处的供液管路，所述供液管路能够从所述硅片上表面的正上方供给抛光液；设置在所述圆边抛光鼓内的圆形挡板，所述挡板设置在所述硅片的正上方，且能够绕中心轴线X作旋转运动；其中，所述挡板在朝向所述圆边抛光鼓的表面上沿圆周方向均匀地设置有多条沟槽，以使得滴落在所述挡板上的所述抛光液经所述沟槽流动至所述硅片的边缘。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 边缘 抛光 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
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