[发明专利]一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法

摘要

本发明提供了一种精密金属遮罩及其蚀刻激光复合制作方法，包括金属基材的一侧面为第一主表面，另一侧面为第二主表面，金属基材上开通若干暴露孔，暴露孔位于第一主表面上设置蚀刻孔，暴露孔位于第二主表面上设置激光孔，中心相重合的蚀刻孔与激光孔呈连通状态，蚀刻孔的外口大、内口小，外口与内口之间通过凹弧孔壁过渡衔接，外口与内口连线的倾斜夹角为蒸镀角，激光孔具有垂直孔壁，激光孔具有高精度孔径。制作方法包括：在金属基材的第一主表面和第二主表面上完整涂覆固态光刻胶层；在第一主表面上进行单面的曝光显影制程，制作出第一镂空区；在第一镂空区上进行单面蚀刻制程以蚀刻出凹陷区；在凹陷区内进行激光制程以轰击刻制出贯穿孔洞。