[发明专利]硅片多线切割方法在审

专利信息
申请号: 202110644952.7 申请日: 2021-06-09
公开(公告)号: CN113352485A 公开(公告)日: 2021-09-07
发明(设计)人: 李鹏鲲 申请(专利权)人: 阜宁协鑫光伏科技有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/04;B23K26/362
代理公司: 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 代理人: 唐清凯
地址: 224400 江苏省盐*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及一种硅片多线切割方法,包括S1、在待切割晶锭的两端分别确定与长度方向垂直的第一横截面和第二横截面的位置,其中第一横截面为面积满足预定要求、且与第一端面具有一个以上的公共点的横截面,二横截面为面积满足预定要求、且与第二端面具有一个以上的公共点的横截面;S2、在待切割晶锭的外表面与第一横截面的交线上标记第一标识;在待切割晶锭的外表面与第二横截面的交线上标记第二标识;S3、根据第一标识确定起始切割位置,根据第二标识确定末尾切割位置。本发明一定程度提高了生产效率,提高多次动作的重复度。起始切割位置及末尾切割位置的定位较为准确,减少了硅料损失,提高了晶锭的产出率。
搜索关键词: 硅片 切割 方法
【主权项】:
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