[发明专利]一种采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法有效
| 申请号： | 202110637036.0 | 申请日： | 2021-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN113391396B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 郝寅雷;牛梦华;邓鑫宸;车录锋;周柯江 | 申请（专利权）人： | 浙江大学绍兴微电子研究中心;浙江大学;绍兴市科技创业投资有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/134 | 分类号： | G02B6/134 |
| 代理公司： | 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 | 代理人： | 徐锋 |
| 地址： | 312000 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种在玻璃基片背面采用内阻挡层提高玻璃基光波导芯部对称性的方法。包括：将玻璃基片置于含K |
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| 搜索关键词： | 一种 采用 阻挡 提高 玻璃 波导 对称性 方法 | ||
【主权项】：
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- 本实用新型涉及一种适用于多光纤系统的PLC多模光波导，该PLC多模光波导包括玻璃衬底和位于玻璃衬底内部的离子交换型多模光波导，该离子交换型多模光波导为各向渐变折射率型光波导，光波导的等效折射率介于耦合的两种多模光纤等效折射率之间；两种多模光纤为输入光纤和输出光纤，输入光纤和输出光纤的等效折射率差不超过0.1，输入光纤和输出光纤直径比例不超过12。与现有技术相比，本实用新型能够简单实现纤芯直径与折射率差异不大的多模光纤的互联，并且由此产生的光损耗小，同时兼具PLC型光波导尺寸小、性能稳定等优点。
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- 许妙珊 - 许妙珊
- 2016-03-25 - 2016-08-03 - G02B6/134
- 本实用新型公开了一种离子交换制备掩埋光波导用电场辅助装置，包括旋转桶，所述旋转桶内设有溶液槽，其特征在于：所述溶液槽套接有夹圈，所述夹圈连接有若干顶杆，所述顶杆连接有辊轮，所述辊轮设在旋转桶的内壁上；所述溶液槽底部设有底板，所述底板连接有电机，所述底板还设有若干支撑杆，所述支撑杆连接有万向轮，所述旋转桶内部设有支撑台，所述万向轮设在支撑台上。本实用新型辊轮与万向轮相配合，在电机提供动力的基础下溶液槽可以进行旋转，在该光波导用电场辅助装置使用之前提前将内部熔盐激活，提供更稳定的工作状态，具有优良的推广价值。
- 用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺-201410595039.2
- 余波;宗瑞朝;黎林;青晓英;杜泽永 - 成都康特电子高新科技有限责任公司
- 2014-10-30 - 2015-02-25 - G02B6/134
- 本发明公开了用于制作光分路器的玻璃光波导的生产工艺，包括如下步骤：研磨层制作，在玻璃基片上溅射一层铝，作为离子交换时的掩膜层；光刻处理，将需要的波导图形用光刻胶保护；去掉铝膜，采用化学腐蚀，将波导上部的铝膜取掉；沟道型光波导制作，将做好掩膜的玻璃基片放入含银离子和钠离子的混合溶液中，进行离子交换，得到沟道型光波导；掩埋型玻璃光波导制作，对沟道型光波导施以电场，将银离子趋向玻璃基片深处，得到掩埋型玻璃光波导。本发明通过上述原理，能够让银离子和钠离子的交换更彻底快速，银离子能更好的趋向玻璃基片深处，制得的玻璃光波导品质更好。
- 一种掺铒氮化锌薄膜光波导及制备方法-201410246159.1
- 王凤翔;孙舒宁;付刚;陈志华;李双 - 山东建筑大学
- 2014-06-05 - 2014-08-27 - G02B6/134
- 本发明涉及一种半导体材料光波导的制备方法，尤其涉及一种掺铒氮化锌薄膜光波导及制备方法。本发明首次在氮化锌这种新型半导体材料薄膜层尝试进行铒离子掺杂，并证明离子辐照技术制备掺铒氮化锌光波导是可行的，为氮化锌光波导的发展前景提供了一个巨大的推力。本发明进行铒离子辐照氮化锌薄膜过程中辐照能量300-600KeV，注入剂量1014-1016ions/cm2，束流密度0.3-0.8μA/cm2；氮化锌薄膜表面法线方向与入射离子束方向的夹角为7°；掺铒氮化锌薄膜样品用氮化炉内在氮气中进行退火处理。所制得掺铒氮化锌光波导中无氧化锌混入，纯度高。铒离子分布成高斯分布，最大浓度集中在薄膜中部，发光效率明显提高，荧光强度增益4%-15%。
- 三维玻璃光波导制备方法-201310146558.6
- 祁志美;吴建杰;李金洋;逯丹凤 - 中国科学院电子学研究所
- 2013-04-25 - 2014-03-26 - G02B6/134
- 本发明公开了一种三维玻璃光波导制备方法，首先通过湿法刻蚀工艺或干法刻蚀工艺或激光微加工技术在钠钙玻璃基板上制备出脊型、槽型、台阶型中的一种或几种三维玻璃结构，然后对刻蚀后的玻璃基板进行离子交换得到脊型玻璃光波导或侧壁型玻璃光波导或脊型/侧壁型耦合式玻璃光波导。与常用的“先离子交换后刻蚀”制备三维玻璃光波导的方法相比，本发明的三维玻璃光波导制备方法在制作工艺上没有增添任何难度，而且能够显著缩短离子交换时间，进而能够抑制由离子交换引起的表面粗糙度增加，制得的三维玻璃光波导侧壁折射率对比度大，因而侧壁消逝场强，适合制作高灵敏度生化传感器和曲率半径小的光子器件。
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