[发明专利]缺陷分类器和缺陷分类方法、装置、设备及存储介质在审
申请号: | 202110607390.9 | 申请日: | 2021-06-01 |
公开(公告)号: | CN113298166A | 公开(公告)日: | 2021-08-24 |
发明(设计)人: | 刘成成;王振;韩春营;俞宗强;乔静;张旭阳 | 申请(专利权)人: | 中科晶源微电子技术(北京)有限公司 |
主分类号: | G06K9/62 | 分类号: | G06K9/62;G06K9/46 |
代理公司: | 北京市鼎立东审知识产权代理有限公司 11751 | 代理人: | 陈佳妹;朱慧娟 |
地址: | 102600 北京市大兴区北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本申请公开了一种缺陷分类器,该缺陷分类器包括第一层分类器和第二层分类器,第一层分类器,被配置为将缺陷图像进行第一次分类得到浅分类层缺陷类别,第二层分类器,被配置为将浅分类层缺陷类别进行第二次分类得到深分类层缺陷类别。第一层分类器为model‑based分类器,第二层分类器为rule‑based分类器和model‑based分类器中的至少一种。在复杂分类场景中,利用本申请的多层缺陷分类器实现各种类型缺陷的准确分类,利于缺陷原因的准确分析排查,从而改善良率,提高生产。 | ||
搜索关键词: | 缺陷 分类 方法 装置 设备 存储 介质 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中科晶源微电子技术(北京)有限公司,未经中科晶源微电子技术(北京)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202110607390.9/,转载请声明来源钻瓜专利网。