[发明专利]一种类富勒烯纳米结构含氢碳膜及其制备方法在审
| 申请号： | 202110571745.3 | 申请日： | 2021-05-25 |
| 公开（公告）号： | CN113278939A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 郑小平;张星;刘广桥;陈奎;张天云;董向成 | 申请（专利权）人： | 兰州城市学院 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/16;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 北京睿智保诚专利代理事务所(普通合伙) 11732 | 代理人： | 王灿 |
| 地址： | 730070 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本发明属于碳基涂层技术领域。本发明提供了一种类富勒烯纳米结构含氢碳膜的制备方法，将预处理的金属基体置于真空条件后通入氩气，在氩气气氛下进行活化处理；将活化处理的金属基体在氩气气氛下沉积过渡层，得到含过渡层的金属基体；通入混合气体，在过渡层上沉积类富勒烯纳米颗粒，得到类富勒烯纳米结构含氢碳膜；混合气体包含流量比为1：0.5～0.8：1～3的氩气、氢气和碳氢气源。本发明的类富勒烯纳米结构含氢碳膜的摩擦系数显著减小，耐磨性能和耐磨寿命显著提高，具有优异的减摩抗磨作用；含氢碳膜具有高硬度和高韧性，与金属基体之间形成很强的结合力。 | ||
| 搜索关键词： | 种类 富勒烯 纳米 结构 含氢碳膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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