[发明专利]空间等离子体仪器定标离子源装置有效
| 申请号： | 202110563062.3 | 申请日： | 2021-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN113314392B | 公开（公告）日： | 2022-12-30 |
| 发明（设计）人： | 章玉康;李毅人 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | H01J49/10 | 分类号： | H01J49/10;H01J49/02 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 李晓莉 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开一种空间等离子体仪器定标离子源装置，包括电离腔(14)、差分泵(20)、热阴极灯丝(10)放电装置、加速电场产生装置(15)，加速电场产生装置(15)包括正电极(16)、接地极(17)和负电极(18)；热阴极灯丝(10)放电装置装配于电离腔(14)一侧，电离腔(14)另一侧固定加速电场产生装置(15)，都与电离腔(14)相连通；加速电场产生装置(15)中心处整体开通孔，包括三层金属栅网，分别作为电场区域的正电极(16)、接地极(17)和负电极(18)；差分泵(20)装配在加速电场产生装置(15)的一侧。本发明有效降低离子束流强度，满足空间等离子体仪器地面定标试验，优化试验装置、简化试验流程。 | ||
| 搜索关键词： | 空间 等离子体 仪器 定标 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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