[发明专利]一种对于粉末压结类靶材焊接面的镀镍方法在审
| 申请号： | 202110530266.7 | 申请日： | 2021-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN113278913A | 公开（公告）日： | 2021-08-20 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;滕俊 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种对于粉末压结类靶材焊接面的镀镍方法，所述镀镍方法包括：将表面处理后的粉末压结类靶材放入物理气相沉积炉内，对粉末压结类靶材焊接面先采用钛靶进行PVD轰击处理，再采用镍靶进行PVD镀膜处理，得到带有镍膜的粉末压结类靶材。本发明所述镀镍方法采用物理气相沉积镀镍膜，一方面，物理气相沉积过程处于高温高真空度环境，不仅未使用任何液体，还可以除去粉末压结类靶材内部的气体或液体杂质，另一方面，采用物理气相沉积可以得到致密性较高的镍膜，可以有效隔绝粉末压结类靶材与焊料层，并且物理气相沉积对待镀膜的表面粗糙度无要求，无需进行喷砂处理，可以有效避免粉末压结类靶材发生变形与破裂。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 对于 粉末 压结类靶材 焊接 方法 | ||
【主权项】：
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