[发明专利]一种具有多层结构的掩膜板在审
| 申请号： | 202110455191.0 | 申请日： | 2021-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN113186490A | 公开（公告）日： | 2021-07-30 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 睿馨（珠海）投资发展有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24;H01L51/56 |
| 代理公司： | 上海洞鉴知识产权代理事务所(普通合伙) 31346 | 代理人： | 刘少伟 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市横琴新*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有多层结构的掩膜板，所述掩膜板包括至少两层，并且具有至少一个开口；第一掩膜层与基板的距离小于第二掩膜层与基板的距离；所述第一掩膜层的开口横截面小于第二掩膜层的开口横截面；这样蒸发的材料通过所述第二掩膜层进入所述第一掩膜层，最后沉积在所述基板上。有益效果是：本发明的掩膜板采用开口的入口大于出口的设计，能够有效减少蒸发材料的阴影效果；该掩膜板由于开口的设计，使得第二掩膜层可以做的比较厚，能够有效支撑第一掩膜层，所以能克服现有掩膜板的脆弱性和下垂问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 具有 多层 结构 掩膜板 | ||
【主权项】：
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