[发明专利]一种新型图形复合对位靶标及HDI板在审
申请号: | 202110449807.3 | 申请日: | 2021-04-25 |
公开(公告)号: | CN113163580A | 公开(公告)日: | 2021-07-23 |
发明(设计)人: | 孟昭光;赵南清;蔡志浩;曾国权 | 申请(专利权)人: | 东莞市五株电子科技有限公司 |
主分类号: | H05K1/02 | 分类号: | H05K1/02 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 张建 |
地址: | 523000 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种新型图形复合对位靶标及HDI板,包括环形的对位盲孔,在对位盲孔的中间开设有对位通孔,对位通孔和对位盲孔共中心点;对位通孔的外边界与对位盲孔的内边界之间形成有环形的线路图形,线路图形的外边界与对位盲孔的内边界连接,线路图形的内边界与对位通孔的外边界之间被蚀刻移除。本发明在对位靶标中不仅同时融合了对位盲孔和对位通孔,还融合了环形的线路图形,可以先同时抓取对位通孔和对位盲孔两种对位靶标,以平衡两种孔型所带来的对位偏差,提升图形对位效率,再进一步抓取环形的线路图形,通过将线路图形分别与对位通孔和对位盲孔进行对准度检查,进一步提升图形对位精度和准确度,提升图形对位效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 图形 复合 对位 靶标 hdi | ||
【主权项】:
暂无信息
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