[发明专利]一种光刻机投影物镜温度均衡装置在审
| 申请号： | 202110449100.2 | 申请日： | 2021-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN113176710A | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张俊杰 | 申请（专利权）人： | 上海图双精密装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海海贝律师事务所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种光刻机投影物镜温度均衡装置，包括物镜主体，所述物镜主体的上端安装有上温度传感器，且物镜主体的下端设有下温度传感器，所述物镜主体的一侧设有第一半导体制冷片，且物镜主体的另一侧设有第二半导体制冷片，所述第一半导体制冷片的上端为热端，且第一半导体制冷片的下端为冷端，所述第二半导体制冷片的上端为冷端，且第二半导体制冷片的下端为热端，本发明在物镜主体的一侧设置了第一半导体制冷片，而在物镜主体的另一侧设置了第二半导体制冷片，以实现上端吸热下端放热，或者时上端放热下端吸热的目的，进而实现两端温度的平衡，本发明制作简单，并且不会遮挡光线，也不存在机械振动，保证了光线的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 投影 物镜 温度 均衡 装置 | ||
【主权项】：
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