[发明专利]ZnSn合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 202110403534.9 | 申请日： | 2021-04-15 |
| 公开（公告）号： | CN113308672A | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 张玉玲;甘志俭 | 申请（专利权）人： | 基迈克材料科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C22C13/00;C22C18/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 孔令聪 |
| 地址： | 215200 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种ZnSn合金靶材及其制备方法。ZnSn合金靶材的制备方法，包括如下步骤：将Zn粉末和Sn粉末混合均匀，得到混合粉体；对混合粉体进行预压成型，压力为400T以上并保压处理，得到ZnSn合金毛坯；采用冷等静压的工艺对ZnSn合金毛坯进行强化处理，得到ZnSn合金靶坯；以及对ZnSn合金靶坯进行绑定成型，得到ZnSn合金靶材。本发明技术方案的ZnSn合金靶材的制备方法，采用粉末状态的原料Zn和Sn，之后先将混合粉体预压得到具有初步形状的ZnSn合金毛坯，再采用冷等静压进行强化处理，能够得到致密度和晶粒良好的高性能ZnSn合金靶材。 | ||
| 搜索关键词： | znsn 合金 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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