[发明专利]一种曲面镜面形误差直接测量及三维面形扫描系统

摘要

本发明公开了一种曲面镜面形误差直接测量及三维面形扫描系统，包括垂直线性运动组件、中控旋转组件、水平径向扫描组件及曲面镜定心定位旋转组件；垂直线性运动组件包括电机、导轨和垂直承载滑块；中控旋转组件包括旋转电机、旋转轴承和支撑架；水平径向扫面组件包括电机、导轨、承载滑块及激光传感器；曲面镜定心定位旋转组件包括卡盘、三个可移动等高球面支撑爪、水平仪及定位挡板。本发明由各组件带动激光传感器沿中控旋转平台中心线的垂直方向及不同半径周向旋转运动，实现了激光传感器的初始位置标定、曲面镜的局部面形误差测量及曲面三维扫描；曲面镜定心定位旋转组件为曲面镜的中心定位及局部等曲率半径的提供了精确移动及支撑作用。