[发明专利]一种化学用机械研磨设备在审
| 申请号： | 202110377632.X | 申请日： | 2021-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN113146463A | 公开（公告）日： | 2021-07-23 |
| 发明（设计）人： | 黄亚辉 | 申请（专利权）人： | 黄亚辉 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B37/34;B24B55/00;B24B37/30 |
| 代理公司： | 浙江亿创果专利代理有限公司 33339 | 代理人： | 梅秀丽 |
| 地址： | 236800 安徽省亳州市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明公开了一种化学用机械研磨设备，包括动力底座，所述动力底座的顶部固定连接有研磨箱，所述动力底座的内部设置有传动机构，所述传动机构的顶部贯穿动力底座并延伸至研磨箱的内部。本发明通过设置动力底座、研磨箱、传动机构、联动机构、固定卡盘、限位机构、开口、盖板、第一滑槽、第二滑槽、限位垫、凹槽、第一密封圈、第三滑槽和第二密封圈的配合使用，解决了现有化学机械研磨在使用过程中由于晶圆处于同一位置，当对应位置的研磨盘出现问题，会导致晶圆损坏，同时单盘研磨会使晶圆研磨的时间变久，晶圆研磨均匀度有偏差的问题，该化学用机械研磨设备，具备对晶圆快速均匀研磨的优点，以满足快速均匀研磨的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 研磨 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于黄亚辉，未经黄亚辉许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110377632.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
