[发明专利]一种表面具有多孔结构的碲化铋柔性复合薄膜及其制备方法有效
| 申请号： | 202110352627.3 | 申请日： | 2021-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN113088910B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | 刘帅;谢晓锐;韩文静;刘迎港 | 申请（专利权）人： | 西安石油大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/58 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 王艾华 |
| 地址： | 710065 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提出一种表面具有多孔结构的碲化铋柔性复合薄膜及其制备方法，首先，采用磁控溅射的方法，在聚酰亚胺柔性衬底表面沉积一层碲化铋薄膜。随后，通过管式烧结炉在惰性气体保护的条件下，对碲化铋薄膜进行一定温度下的退火处理，可得到表面孔隙尺寸和密度可控的多孔结构碲化铋柔性复合薄膜。本发明主要利用聚酰亚胺高分子柔性衬底和碲化铋薄膜在热膨胀系数上的差异，通过热处理诱导碲化铋薄膜表面产生多孔结构。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 表面 具有 多孔 结构 碲化铋 柔性 复合 薄膜 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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