[发明专利]中间转印模板的处理方法在审
| 申请号： | 202110336911.1 | 申请日： | 2021-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN113075858A | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 李坤;杨海涛;杜凯凯;李行;吾晓;赵东峰;饶轶 | 申请（专利权）人： | 歌尔股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 梁馨怡 |
| 地址： | 261031 山东省潍*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种中间转印模板的处理方法，所述中间转印模板的处理方法包括以下步骤：将所述中间转印模板放于真空室内并抽真空；向所述真空室内充入保护气体，其中，所述保护气体至少包括氧气；对所述中间转印模板进行等离子体处理，以去除所述磨损后的抗粘层。本发明技术方案的中间转印模板的处理方法可以在不损伤聚合物纳米结构的基础上去除磨损的抗粘层，节约成本。 | ||
| 搜索关键词： | 中间 印模 处理 方法 | ||
【主权项】：
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