[发明专利]一种强脉冲极紫外光源系统在审
申请号: | 202110303927.2 | 申请日: | 2021-03-22 |
公开(公告)号: | CN112859547A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 芶富均;陈波;陈建军 | 申请(专利权)人: | 芶富均 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;H05G2/00 |
代理公司: | 成都春夏知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 51317 | 代理人: | 夏琴 |
地址: | 550025 贵州省贵*** | 国省代码: | 贵州;52 |
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摘要: | 本发明公开了一种强脉冲极紫外光源系统,其等离子体源与真空腔室相连通,电极靶设置于真空腔室内腔下部,等离子体源与等离子体电源电连接,等离子体源具有进气口,等离子体源位于进气口下部区域具有放电区,放电区下部具有喷嘴,进气口通过放电区与喷嘴连通,喷嘴侧面连通有导气口,喷嘴底部具有喷口,真空腔室顶部具有顶部开口,喷口与顶部开口连通,喷嘴所在区域外侧套装有第一线圈,电极靶所在区域外侧套装有第二线圈,第一线圈和第二线圈通过线圈电源提供电源,真空腔室侧面具有引出口,真空腔室底部与真空泵连通,真空腔室与接地端电连接,解决现有技术中需要产生稳定高效的13.5nm光源的技术问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 脉冲 紫外 光源 系统 | ||
【主权项】:
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