[发明专利]一种强脉冲极紫外光源系统

权利要求书

1.一种强脉冲极紫外光源系统， 其特征在于，包括：等离子体源（1）、真空腔室（4）、电极靶（6）、第一磁场线圈（7）、第二磁场线圈(9)、真空泵（16）、等离子体电源（10）和线圈电源（14），所述等离子体源（1）与真空腔室（4）相连通，所述电极靶（6）设置于真空腔室（4）内腔下部，所述等离子体源（1）与等离子体电源（10）电连接，所述等离子体源（1）具有进气口（101），所述等离子体源（1）位于进气口（101）下部区域具有放电区（102），所述放电区（102）下部具有喷嘴（103），所述进气口（101）通过放电区（102）与喷嘴（103）连通，所述喷嘴（103）侧面连通有导气口（104），所述喷嘴（103）底部具有喷口（105），所述真空腔室（4）顶部具有顶部开口，所述喷口（105）与顶部开口连通，所述喷嘴（103）所在区域外侧套装有第一线圈（7），所述电极靶（6）所在区域外侧套装有第二线圈（9），所述第一线圈（7）和第二线圈（9）通过线圈电源（14）提供电源，所述真空腔室（4）侧面具有引出口（8），所述真空腔室（4）底部与真空泵（16）连通，所述真空腔室（4）与接地端（15）电连接。

2.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶（6）与脉冲电源（13）电连接，所述脉冲电源（13）另一端与等离子体电源（10）电连接。

3.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述等离子体源（1）与真空腔室（4）之间设置有第一绝缘垫（2），所述真空腔室（4）的顶部开口内设置有第一绝缘套（3）。

4.根据权利要求2所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶（6）包括：靶头（604）和导杆（606），所述靶头（604）与导杆（606）连接，所述导杆（606）上具有连接孔（601），所述连接孔（601）与脉冲电源（13）连接。

5.根据权利要求4所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述导杆（606）上具有安装板，所述安装板上具有若干安装孔（602），所述安装孔（602）内穿设有连接螺钉（17）与真空腔室（4）连接。

6.根据权利要求4所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述靶头（604）外侧设置有循环冷却水管（605），所述循环冷却水管（605）沿着导杆（606）延伸至真空腔室（4）外部。

7.根据权利要求5所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述安装板与真空腔室（4）之间设置有第二绝缘套（19），所述第二绝缘套（19）的截面形状呈T字形结构。

8.根据权利要求7所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述连接螺钉（17）外套装有第三绝缘套（18）。

9.根据权利要求2所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述等离子体电源（10）的正极输出端设置有反冲保护电路，所述反冲保护电路由单向二极管 （11）和接触器（12）组成。

10.根据权利要求1所述的一种强脉冲极紫外光源系统，其特征在于，所述电极靶（6）上方设置有隔板（5），所述隔板（5）与电极靶（6）位置对应处设置有通过孔。