[发明专利]单片集成氮化物发光波长可调节的白光LED及制备方法

摘要

单片集成氮化物发光波长可调节的白光LED及制备方法涉及半导体技术领域，解决了白光LED色温和显色指数难以精确调控、性能和使用寿命低的问题，LED包括三个发光单元，一个包括从下至上顺次设置的第一石墨烯层、氮化物缓冲层、掺杂n‑GaN层、蓝光InGaN/GaN多量子阱层和掺杂p‑GaN层；一个包括从下至上顺次设置的第二石墨烯层、第一非掺杂i‑InGaN层、第一掺杂n‑InGaN层、绿光InGaN/InGaN多量子阱层、第一掺杂p‑InGaN层；另一个包括从下至上顺次设置的第三石墨烯层、第二非掺杂i‑InGaN层、第二掺杂n‑InGaN层、红光InGaN/InGaN多量子阱层、第二掺杂p‑InGaN层。本发明提升了器件质量、集成度、性能和使用寿命，能控制色温和显色指数。