[发明专利]一种Nb-Si基合金抗氧化成分快速筛选的高通量方法在审
申请号: | 202110274966.4 | 申请日: | 2021-03-15 |
公开(公告)号: | CN113136551A | 公开(公告)日: | 2021-07-20 |
发明(设计)人: | 周春根;沙江波;姜威 | 申请(专利权)人: | 北京航空航天大学 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/16;C22C27/02;C23C14/58 |
代理公司: | 北京航智知识产权代理事务所(普通合伙) 11668 | 代理人: | 黄川;史继颖 |
地址: | 100191*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: |
本发明公开了一种Nb‑Si基合金抗氧化成分快速筛选的高通量方法,包括:将制备的Nb‑16Si‑6Cr‑24Ti‑6Al基体安装在多弧离子镀基板正前方,将Cr靶材放置在多弧离子镀靶座上部,将xNb‑ySi‑zTi‑kAl合金靶材放置在靶座下部,利用多弧离子镀技术,制备梯度Nb‑Si基合金薄膜;将梯度Nb‑Si基合金薄膜放置于真空环境中进行退火,之后放置于高温下进行氧化;采用Raman光谱表征氧化薄膜氧化物组成以及分布,结合氧化前成梯度Nb‑Si基合金薄膜成分,表征出各氧化物对应的合金元素含量,筛选出生成连续CrNbO |
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搜索关键词: | 一种 nb si 合金 氧化 成分 快速 筛选 通量 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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