[发明专利]基于面曝光增材的石墨烯基场效应管气体传感器制造方法有效
| 申请号： | 202110267534.0 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113176303B | 公开（公告）日： | 2022-07-12 |
| 发明（设计）人： | 沈理达;柏德智;刘富玺;谢德巧;吕非;邱明波;田宗军 | 申请（专利权）人： | 南京航空航天大学 |
| 主分类号： | G01N27/12 | 分类号： | G01N27/12;B82Y40/00;B82Y15/00 |
| 代理公司： | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人： | 韩天宇 |
| 地址： | 210016 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于面曝光增材的石墨烯基场效应管气体传感器制造方法，采用面曝光光固化技术进行传感器整体成形并结合了激光活化技术和电化学镀对传感器的源极和漏极进行激光活化和化学镀，利用多工位系统进行不同成形材料的切换。在切换材料之前，需要对已成形部分进行清洗、干燥，避免不同材料之间的相互影响。如此，最终完成对石墨烯基场效应管气体传感器的制造。本发明简化了石墨烯基场效应管气体传感器的制造工艺和成本，有利于小批量制造和产品研发。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 曝光 石墨 场效应 气体 传感器 制造 方法 | ||
【主权项】：
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