[发明专利]光功率测量装置在审
| 申请号： | 202110266423.8 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113049097A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 韦欣;谢新宇;李川川;李健 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G01J1/42 | 分类号： | G01J1/42;G01J1/56;G01J1/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种光功率测量装置，包括：微机电系统‑垂直腔面发射激光器、连接柱、受光平台、光谱分析模块和功率计算模块；微机电系统‑垂直腔面发射激光器包括外延结构和与外延结构连接的微机电‑布拉格反射镜；微机电‑布拉格反射镜通过连接柱与受光平台连接；受光平台受到入射激光的照射产生的辐射压力，辐射压力通过连接柱传送至微机电‑布拉格反射镜，以使得微机电‑布拉格反射镜发生位移；垂直腔面发射激光器产生的激射光透过微机电‑布拉格反射镜出射；光谱分析模块设置在激射光的光路上；光谱分析模块用于测量激射光的波长；功率计算模块与光谱分析模块电连接；功率计算模块用于根据激射光的波长计算入射激光的光功率。 | ||
| 搜索关键词： | 功率 测量 装置 | ||
【主权项】：
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