[发明专利]一种具旋转舱体的封闭靶仓在审
| 申请号： | 202110266009.7 | 申请日： | 2021-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN113061856A | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 战永刚;战捷;冯红涛;周林;尹强 | 申请（专利权）人： | 深圳市三束镀膜技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 | 代理人： | 刘曰莹;袁曼曼 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种具旋转舱体的封闭靶仓，包括舱体和溅射靶，所述溅射靶设于所述舱体的腔体内；所述舱体外还设有：门框、舱门、第一驱动装置和第二驱动装置，所述舱体上设有开口，所述门框设于所述开口上，所述第二驱动装置驱动所述舱门运动，以与门框相配合实现对所述舱体的关闭与打开；所述舱门与所述门框相对接时，所述舱体形成一密闭容器；所述第一驱动装置驱动所述舱体旋转。本发明对溅射靶实现真空密封的同时，减小了靶仓开关所占用的空间，节省了镀膜机内的空间，且通过第二驱动装置驱动舱门前推和后拉实现关闭和打开，舱门关闭后由第二驱动装置持续前推的动作实现锁紧，无需再额外设置锁紧机构进行锁紧，简化了设备，操作更加简单便捷。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 旋转 封闭 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市三束镀膜技术有限公司，未经深圳市三束镀膜技术有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202110266009.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：计费方法、装置、电子设备和计算机存储介质
- 下一篇：一种绿色蔬菜净菜加工装置
- 同类专利
- 专利分类
