[发明专利]一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置在审
| 申请号： | 202110262034.8 | 申请日： | 2021-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN113049491A | 公开（公告）日： | 2021-06-29 |
| 发明（设计）人： | 朱智能;冯应猛;张忠利;潘剑飞 | 申请（专利权）人： | 深圳鹏瑞智能科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/01 | 分类号： | G01N21/01;G01N21/95;H01L21/66;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京神州信德知识产权代理事务所(普通合伙) 11814 | 代理人： | 刘真 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置，包括计算组件承载箱，所述计算组件承载箱底部的边角位置固定安装有稳固支撑底脚，所述计算组件承载箱外部正面的一侧位置固定安装有触控显示屏，所述螺纹连接座的底部活动安装有微距测量镜头，所述数据输出端口与数据接入端口之间活动连接有数据传输导线，所述图像输出端口与图像接入端口之间活动连接有图像传输导线。该配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置，通过在测量机构外部增设了带有触控显示屏的计算机构，能够辅助测量，确保测量结果的精准性，并结合所增设的微距测量镜头，能够使整体的瑕疵测量工作更加细化精准，提升了整体的工作使用效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 配备 镜头 组合式 micro led 外延 瑕疵 测量 装置 | ||
【主权项】：
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