[发明专利]一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置在审

专利信息
申请号: 202110262034.8 申请日: 2021-03-10
公开(公告)号: CN113049491A 公开(公告)日: 2021-06-29
发明(设计)人: 朱智能;冯应猛;张忠利;潘剑飞 申请(专利权)人: 深圳鹏瑞智能科技有限公司
主分类号: G01N21/01 分类号: G01N21/01;G01N21/95;H01L21/66;H01L21/67
代理公司: 北京神州信德知识产权代理事务所(普通合伙) 11814 代理人: 刘真
地址: 518116 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 配备 镜头 组合式 micro led 外延 瑕疵 测量 装置
【权利要求书】:

1.一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置,包括计算组件承载箱(1),其特征在于:所述计算组件承载箱(1)底部的边角位置固定安装有稳固支撑底脚(2),所述计算组件承载箱(1)外部正面的一侧位置固定安装有触控显示屏(3),所述计算组件承载箱(1)外部的边侧位置开设有散热槽(4),所述计算组件承载箱(1)的外部上端活动安装有通风网盖(5),所述计算组件承载箱(1)的内部预设有承载腔(6),所述计算组件承载箱(1)外部正面的另一侧位置预设有数据接入端口(7),所述计算组件承载箱(1)的外部边侧预设有测量支撑底座(8),所述计算组件承载箱(1)背部的边侧位置固定连接有通电连接导线(22),所述触控显示屏(3)的外部边侧固定安装有启动开关(9),所述承载腔(6)内部上端的边角位置固定安装有对位装配角件(10),所述通风网盖(5)外部上端的边角位置和对位装配角件(10)的外部上端均开设有对位装配孔(12),所述承载腔(6)内部内侧的一侧位置固定安装有电源(11),所述承载腔(6)内部内侧的另一侧位置固定安装有图像处理组件(13),所述承载腔(6)内部外侧的一侧位置固定安装有功能调节组件(14),所述承载腔(6)内部外侧的另一侧位置固定安装有数据分析组件(15),所述数据接入端口(7)的外部边侧预设有图像接入端口(16),所述测量支撑底座(8)外部上端的中间位置固定安装有外延片载台(17),所述测量支撑底座(8)外部背部的边侧位置固定安装有加固支杆(18),所述加固支杆(18)外部外侧的上端位置纵向开设有定向调节槽(19),所述加固支杆(18)外部内侧的上端位置预设有卡接装配槽(20),所述对位装配孔(12)的外部活动安装有定位装配螺栓(21),所述卡接装配槽(20)的内侧活动安装有卡接装配块(23),所述卡接装配块(23)的外部边侧固定安装有定位调节螺杆(24),所述卡接装配块(23)的外部外侧固定安装有测量机构(25),所述定位调节螺杆(24)穿过定向调节槽(19)活动安装有紧固螺套(26),所述测量机构(25)外部的边侧位置固定安装有镜头收纳箱(27),所述测量机构(25)外部上端内侧的一侧位置预设有数据输出端口(28),所述测量机构(25)外部上端内侧的另一侧位置预设有图像输出端口(29),所述测量机构(25)外部上端的中间位置固定安装有观察镜头(30),所述测量机构(25)底部的中间位置固定安装有螺纹连接座(31),所述镜头收纳箱(27)内部固定安装有收纳连接螺管(32),所述镜头收纳箱(27)的外部活动安装有箱门(33),所述螺纹连接座(31)的底部活动安装有微距测量镜头(34),所述数据输出端口(28)与数据接入端口(7)之间活动连接有数据传输导线(35),所述图像输出端口(29)与图像接入端口(16)之间活动连接有图像传输导线(36)。

2.根据权利要求1所述的一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置,其特征在于:所述计算组件承载箱(1)整体为中空箱体结构,且稳固支撑底脚(2)的底部均采用橡胶材质,并在计算组件承载箱(1)底部的四个边角位置对称固定安装有规格相同的四个,所述散热槽(4)在计算组件承载箱(1)的外部边侧对称等间距开设,并规格均相同,所述散热槽(4)与计算组件承载箱(1)所设承载腔(6)内部之间相互连通。

3.根据权利要求1所述的一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置,其特征在于:所述对位装配角件(10)在承载腔(6)内部上端的四个边角位置对称固定安装有规格相同的四个,且承载腔(6)内部上端的内部规格与通风网盖(5)的外部规格之间相互对应吻合,所述对位装配孔(12)在通风网盖(5)外部上端的边角位置以及四个对位装配角件(10)的上端分别对应开设,并规格均相同。

4.根据权利要求1所述的一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置,其特征在于:所述对位装配孔(12)的内部规格与定位装配螺栓(21)的外部规格之间相互对应吻合,且电源(11)在计算组件承载箱(1)内部的固定安装位置与通电连接导线(22)在计算组件承载箱(1)外部背部的固定安装位置相互对应。

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