[发明专利]一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置

说明书

本发明公开了一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置，包括计算组件承载箱，所述计算组件承载箱底部的边角位置固定安装有稳固支撑底脚，所述计算组件承载箱外部正面的一侧位置固定安装有触控显示屏，所述螺纹连接座的底部活动安装有微距测量镜头，所述数据输出端口与数据接入端口之间活动连接有数据传输导线，所述图像输出端口与图像接入端口之间活动连接有图像传输导线。该配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置，通过在测量机构外部增设了带有触控显示屏的计算机构，能够辅助测量，确保测量结果的精准性，并结合所增设的微距测量镜头，能够使整体的瑕疵测量工作更加细化精准，提升了整体的工作使用效果。

技术领域

本发明涉及外延片瑕疵测量技术领域，具体为一种配备微距镜头的组合式MicroLED外延片瑕疵测量装置。

背景技术

外延是半导体工艺当中的一种，瑕疵检测是其生产过程中极为重要的质量检测与提升手段。

对LED外延片瑕疵测量装置来说，测量结果的精准性是其最重要的工作目的，而现有测量装置所搭配的常规镜头与人工测量手段难以实现高精准的瑕疵测量作业，降低了整体的使用工作效率并对整体的使用效果产生了较大程度的影响，且镜头使用后不方便进行闲置状态下的收纳存放，不便于后续的长期使用工作，同时在不配备外部设备的情况下，仅通过人工肉眼无法测量出较为细小的瑕疵，限制了整体的综合使用性能。

发明内容

本发明的目的在于提供一种配备微距镜头的组合式Micro LED外延片瑕疵测量装置，以解决上述背景技术中提出测量结果不够精准，并不便于对使用后的镜头进行稳定存放收纳的问题。

为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种配备微距镜头的组合式MicroLED外延片瑕疵测量装置，包括计算组件承载箱，所述计算组件承载箱底部的边角位置固定安装有稳固支撑底脚，所述计算组件承载箱外部正面的一侧位置固定安装有触控显示屏，所述计算组件承载箱外部的边侧位置开设有散热槽，所述计算组件承载箱的外部上端活动安装有通风网盖，所述计算组件承载箱的内部预设有承载腔，所述计算组件承载箱外部正面的另一侧位置预设有数据接入端口，所述计算组件承载箱的外部边侧预设有测量支撑底座，所述计算组件承载箱背部的边侧位置固定连接有通电连接导线，所述触控显示屏的外部边侧固定安装有启动开关，所述承载腔内部上端的边角位置固定安装有对位装配角件，所述通风网盖外部上端的边角位置和对位装配角件的外部上端均开设有对位装配孔，所述承载腔内部内侧的一侧位置固定安装有电源，所述承载腔内部内侧的另一侧位置固定安装有图像处理组件，所述承载腔内部外侧的一侧位置固定安装有功能调节组件，所述承载腔内部外侧的另一侧位置固定安装有数据分析组件，所述数据接入端口的外部边侧预设有图像接入端口，所述测量支撑底座外部上端的中间位置固定安装有外延片载台，所述测量支撑底座外部背部的边侧位置固定安装有加固支杆，所述加固支杆外部外侧的上端位置纵向开设有定向调节槽，所述加固支杆外部内侧的上端位置预设有卡接装配槽，所述对位装配孔的外部活动安装有定位装配螺栓，所述卡接装配槽的内侧活动安装有卡接装配块，所述卡接装配块的外部边侧固定安装有定位调节螺杆，所述卡接装配块的外部外侧固定安装有测量机构，所述定位调节螺杆穿过定向调节槽活动安装有紧固螺套，所述测量机构外部的边侧位置固定安装有镜头收纳箱，所述测量机构外部上端内侧的一侧位置预设有数据输出端口，所述测量机构外部上端内侧的另一侧位置预设有图像输出端口，所述测量机构外部上端的中间位置固定安装有观察镜头，所述测量机构底部的中间位置固定安装有螺纹连接座，所述镜头收纳箱内部固定安装有收纳连接螺管，所述镜头收纳箱的外部活动安装有箱门，所述螺纹连接座的底部活动安装有微距测量镜头，所述数据输出端口与数据接入端口之间活动连接有数据传输导线，所述图像输出端口与图像接入端口之间活动连接有图像传输导线。

优选的，所述计算组件承载箱整体为中空箱体结构，且稳固支撑底脚的底部均采用橡胶材质，并在计算组件承载箱底部的四个边角位置对称固定安装有规格相同的四个，所述散热槽在计算组件承载箱的外部边侧对称等间距开设，并规格均相同，所述散热槽与计算组件承载箱所设承载腔内部之间相互连通。