[发明专利]掩膜版清洗运送系统和方法在审
| 申请号： | 202110231062.3 | 申请日： | 2021-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN113025986A | 公开（公告）日： | 2021-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张久杰;季渊 | 申请（专利权）人： | 南京昀光科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/24;C23C14/04;B08B3/08;B08B3/12;B08B13/00;B65G49/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 211100 江苏省南*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种掩膜版清洗运送系统和方法，掩膜版清洗运送系统包括中转腔室和清洗腔室，清洗腔室中设置有传送机构；清洗腔室中设置有清洗机构；传送机构用于将待清洗的掩膜版从中转腔室传送至清洗腔室供清洗机构清洗；以及用于通过将清洗后的掩膜版从清洗腔室传送至中转腔室；其中，中转腔室与蒸镀机的设定腔室密闭连通。掩膜版由中转腔室运送至清洗机构的过程、清洗过程以及清洗后由清洗腔室传送至中转腔室过程中都不会接触大气，与现有技术相比，可以减少清洗后掩膜版与外界大气的接触，进而减少掩膜版所吸附的杂质颗粒；并且掩膜版在清洗后无需与人手接触，由传送机构进行运输即可，进一步减少杂质颗粒的引入。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 清洗 运送 系统 方法 | ||
【主权项】：
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