[发明专利]运送系统以及运送控制方法有效
申请号: | 201911058998.X | 申请日: | 2019-11-01 |
公开(公告)号: | CN111332833B | 公开(公告)日: | 2023-03-24 |
发明(设计)人: | 南孝;木村吉希 | 申请(专利权)人: | 株式会社安川电机 |
主分类号: | B65H5/08 | 分类号: | B65H5/08;B65H29/02;B65H43/00;H01L21/677 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 宋开元 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明提供一种运送系统以及运送控制方法,能够以简单的构成高精度地进行支承基板的手的位置的校准。运送系统(2)包括:手(30),支承作为运送对象的工件(W);臂(40),使手(30)移动;扫描控制部(113),通过臂(40)使手(30)沿与边(33a)和边(33b)交叉的扫描方向移动,以使被固定于手(30)的彼此不平行的边(33a)和边(33b)通过工件(W)的运送路径中的已知的基准位置(RP);以及位置检测部(114),基于当扫描控制部(113)使手(30)移动时边(33a)到达基准位置(RP)的定时以及边(33b)到达基准位置(RP)的定时来检测在与扫描方向交叉的方向上的手(30)的位置偏移。 | ||
搜索关键词: | 运送 系统 以及 控制 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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