[发明专利]一种组合型反射膜及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202110229161.8 申请日: 2021-03-02
公开(公告)号: CN113151783B 公开(公告)日: 2022-04-19
发明(设计)人: 覃家祥;陶友季;王受和;祁黎;王俊;吕天一 申请(专利权)人: 中国电器科学研究院股份有限公司
主分类号: C23C14/08 分类号: C23C14/08;C23C14/10;C23C14/30;G02B5/08
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 宣国华;刘艳丽
地址: 510302 广东省*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种组合型反射膜,包括底部膜层、中部膜层和顶部膜层,所述中部膜层由不同光学厚度的高折射率材料和低折射率材料交替形成,其中所述高折射率材料为HfO2和Ta2O5或HfO2和ZrO2,所述低折射率材料为SiO2,所述顶部膜层由不同光学厚度的Ta2O5和SiO2交替沉积形成,或所述顶部膜层由不同光学厚度的ZrO2和SiO2交替沉积形成。还公开了该反射膜的制备方法,该反射膜具有高紫外光反射率、大带宽、高耐久性,且在酸碱试验、湿热老化试验、紫外光暴露试验后其反射率和宽带基本不变,具有高耐久性,为其长期服役提供保障。
搜索关键词: 一种 组合 反射 及其 制备 方法
【主权项】:
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