[发明专利]一种组合型反射膜及其制备方法有效
申请号: | 202110229161.8 | 申请日: | 2021-03-02 |
公开(公告)号: | CN113151783B | 公开(公告)日: | 2022-04-19 |
发明(设计)人: | 覃家祥;陶友季;王受和;祁黎;王俊;吕天一 | 申请(专利权)人: | 中国电器科学研究院股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/08 | 分类号: | C23C14/08;C23C14/10;C23C14/30;G02B5/08 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 宣国华;刘艳丽 |
地址: | 510302 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: |
本发明公开了一种组合型反射膜,包括底部膜层、中部膜层和顶部膜层,所述中部膜层由不同光学厚度的高折射率材料和低折射率材料交替形成,其中所述高折射率材料为HfO |
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搜索关键词: | 一种 组合 反射 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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