[发明专利]一种低氧大尺寸含铝基金属间化合物的合金靶材的制备方法有效
| 申请号： | 202110142292.2 | 申请日： | 2021-02-02 |
| 公开（公告）号： | CN113046704B | 公开（公告）日： | 2023-05-05 |
| 发明（设计）人： | 邱从章 | 申请（专利权）人： | 长沙淮石新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/04;C22C21/00 |
| 代理公司： | 长沙市融智专利事务所(普通合伙) 43114 | 代理人： | 赵进;颜勇 |
| 地址： | 410000 湖南省长沙市长沙*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种低氧大尺寸含铝基金属间化合物的合金靶材的制备方法，包括以下步骤：(1)将高纯金属铝、高纯金属M和添加剂X进行配料得混合料，其中M为Ti、Ni、Cr或17种稀土金属元素中的任意一种，添加剂X为铝和M的中间合金、M的氢化物中的至少一种；(2)将混合料预压成型，加热至固相温度点±20℃范围内保压，冷却得到坯料；(3)将坯料进行均温处理后冷却；(4)均温处理后的坯料经过热压或热轧制成大尺寸板坯后加工成靶材。本发明制得平面尺寸不低于10 |
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| 搜索关键词： | 一种 低氧 尺寸 基金 化合物 合金 制备 方法 | ||
【主权项】：
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