[发明专利]一种便于排液的硅片清洗设备有效
| 申请号： | 202110072080.1 | 申请日： | 2021-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN112387645B | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 钱诚;田晓东;冯春 | 申请（专利权）人： | 常州江苏大学工程技术研究院;江苏亚电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B1/00 | 分类号： | B08B1/00;B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67;F26B5/14 |
| 代理公司： | 芜湖市昌强专利代理事务所(特殊普通合伙) 34203 | 代理人： | 张宇江 |
| 地址： | 213000 江苏省常州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种便于排液的硅片清洗设备,包括：清洗池、两端板，分别与两端板固定连接的三个齿杆和三个支撑杆，支撑杆能够上下滑动，且硅片能够插到相邻两夹紧齿之间；清洗池的池底镜像设置有两排水管，排水管开设有排水槽，且排水管的内侧壁设置有挡块，以及挡块上方设置有一能够升降的堵块，堵块与排水槽适配，在端板沿清洗池池底滑动至安装位后，向下推动底部的支撑杆使得支撑杆按压堵块，堵块下滑至与挡块贴合并与挡块配合堵住排水槽，进而在安装端板的同时实现排水的关闭，在取出端板的同时，打开排水，进而实现对清洗池无接触开闭排水，以为工人的生命安全提供保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 便于 硅片 清洗 设备 | ||
【主权项】：
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