[发明专利]微纳米气泡增强等离子体抛光的方法有效

专利信息
申请号: 202110039072.7 申请日: 2021-01-13
公开(公告)号: CN112809456B 公开(公告)日: 2023-02-24
发明(设计)人: 张晓静;屠学波;常辉;李永华;唐明亮 申请(专利权)人: 南京尚吉增材制造研究院有限公司
主分类号: B24B1/00 分类号: B24B1/00
代理公司: 南京行高知识产权代理有限公司 32404 代理人: 王菊花
地址: 210046 江苏省南京市经济技*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明涉及表面精密处理技术领域,具体涉及一种微纳米气泡增强等离子体抛光的方法。该方法包括利用微纳米气泡发生装置向工作槽内输送含有微纳米气泡的电解液;在含有微纳米气泡的电解液的工作槽内,阴极工具与电源系统的阴极相连,阳极工件与电源系统的阳极相连,电解液被电解析出气体,气体在阳极工件表面形成气膜层;气膜层中的一部分被电源系统提供的电场能量击穿电离化形成等离子体层,微纳米气泡与等离子体层共同对阳极工件进行表面处理。发明结合等离子体层和微纳米气泡对阳极工件的表面综合效应,增强了对阳极工件表面的抛光效果。微纳米气泡溃灭和等离子体层放电相互促进,互生互利,大大提高了抛光效率,提升了抛光效果。
搜索关键词: 纳米 气泡 增强 等离子体 抛光 方法
【主权项】:
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