[发明专利]一种单晶硅抛光片热处理装置

摘要

本发明公开了一种单晶硅抛光片热处理装置，包括底座，所述底座顶部的一侧固定安装有净化组件，所述底座顶部的中心处固定安装有制冷组件，所述净化组件与制冷组件之间连通有第一管体，所述底座顶部的另一侧固定安装有风冷组件，所述风冷组件的顶部固定安装有气泵；本发明通过开启第二箱门，将加热后的单晶硅抛光片放置在壳体内的板体上，通过启动气泵，外界空气从滤网处进入到第一罩体内，通过设置滤网，滤网用于对外界的杂物进行阻挡，防止外界杂物进入到第一罩体内发生堵塞，气体通过软管进入到过滤箱内，通过无纺布滤板和活性炭滤芯对进入的气体进行过滤，对空气中粉尘和水汽进行过滤，从而达到净化空气的目的。