[发明专利]一种目标图形获取方法、装置及相关设备有效
| 申请号： | 202110017592.8 | 申请日： | 2021-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN112782943B | 公开（公告）日： | 2022-09-06 |
| 发明（设计）人： | 孟令书;张凯翔 | 申请（专利权）人： | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 李莎 |
| 地址： | 250000 山东省济南市*** | 国省代码： | 山东;37 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请提供了一种目标图形获取方法、装置及相关设备，涉及光刻技术领域。首先获取原始图形的参数，其中，原始图形中包括多个图形条，原始图形的参数包括每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距，再依据每个图形条的宽度及相邻两个图形条之间的间距对图形进行分区，并确定目标区域，最后在掩膜板与目标区域对应的位置增设散射条，以通过掩膜板在晶圆上刻蚀出目标图形，其中，目标图形与原始图形相同。本申请提供的目标图形获取方法、装置及相关设备具有光学临近效应的修正效果更好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 目标 图形 获取 方法 装置 相关 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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