[发明专利]研磨垫修整器及包括其的化学机械研磨设备在审
| 申请号： | 202110001831.0 | 申请日： | 2021-01-04 |
| 公开（公告）号： | CN112775838A | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 汪亚 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B53/017 | 分类号： | B24B53/017;B24B51/00;B24B37/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 蔡纯;刘静 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种研磨垫修整器及包括其的化学机械研磨设备。根据本发明实施例的研磨垫修整器包括机械臂；第一修整盘；第二修整盘，与所述第一修整盘固定连接，所述机械臂活动连接所述第一修整盘和所述第二修整盘，以使所述第一修整盘和所述第二修整盘在不同工作时间位于修整工位，以对所述研磨垫进行修整。根据本发明实施例的研磨垫修整器及包括其的化学机械研磨设备，能够延长研磨垫的使用寿命，并减少设备的维护时间。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 修整 包括 化学 机械 设备 | ||
【主权项】：
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