[实用新型]一种提高蚀刻过程产品均匀性的工作台有效

专利信息
申请号: 202021005388.1 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN211788942U 公开(公告)日: 2020-10-27
发明(设计)人: 谭巨华;赵建平 申请(专利权)人: 东莞市钜升金属科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 代理人: 屠佳婕
地址: 523000 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型公开了一种提高蚀刻过程产品均匀性的工作台,包括往复式驱动装置、衔接式均匀喷洒装置、传送带、支撑架和支撑柱,所述支撑柱设于传送带底部,所述支撑架设于传送带两侧,所述往复式驱动装置设于支撑架内侧,所述衔接式均匀喷洒装置设于往复式驱动装置上,所述衔接式均匀喷洒装置包括转盘放置腔、旋转转盘、旋转电机、衔接推动杆、滑动槽和喷洒头。本实用新型属于蚀刻技术领域,具体是一种以固定形态的设置即能产生逐个依次喷洒的旋转喷洒的效果,避免了蚀刻液喷洒不匀及剂量不同而造成的蚀刻尺寸产生差异,提高了产品质量的提高蚀刻过程产品均匀性的工作台。
搜索关键词: 一种 提高 蚀刻 过程 产品 均匀 工作台
【主权项】:
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