[实用新型]一种基于砂轮划片机的半导体芯片清洗机构有效
申请号: | 202020735092.9 | 申请日: | 2020-05-07 |
公开(公告)号: | CN212190309U | 公开(公告)日: | 2020-12-22 |
发明(设计)人: | 孙家全;白雪峰;安明浩;潘禄;徐长远 | 申请(专利权)人: | 沈阳汉为科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;F26B21/00;H01L21/67 |
代理公司: | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人: | 徐家升 |
地址: | 110179 辽宁省沈*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 本实用新型涉及半导体技术领域,尤其为一种基于砂轮划片机的半导体芯片清洗机构,包括底座、外壳和传送带,所述底座的右上方固定连接有支撑架,所述支撑架的上端固定连接有固定喷头,所述支撑架的左侧固定连接有固定架,所述固定架的内部开设有第二滑槽,所述第二滑槽的内部设有移动喷头,所述移动喷头通过滑槽与固定架滑动连接,所述移动喷头的左端通过转轴与第二连接杆转动连接,所述第二连接杆的左端通过转轴与摇杆之间转动连接,所述摇杆的左端通过连接轴与第二电机转动连接,本实用新型中,通过设置的固定喷头、移动喷头和转板,使清洗的角度刚全面,增加半导体芯片的良品率,便于半导体芯片的生产和砂轮划片机的使用。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 砂轮 划片 半导体 芯片 清洗 机构 | ||
【主权项】:
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