[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 202020378049.1 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN211867470U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B53/017;B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种清洁装置。所述清洁装置包括：第一喷口，用于朝向一待清洁表面喷射清洗液；第二喷口，用于朝向所述待清洁表面喷射气体，所述清洗液与所述气体混合后形成超临界流体，以去除残留于所述待清洁表面的杂质。本实用新型一方面，提高了所述清洁装置的清洁效率；另一方面，提高所述清洁装置的清洁能力。另外，从所述超临界流体中释放的所述气体还能有效的防止晶圆在传送过程中被腐蚀，从而改善晶圆产品的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
【主权项】：
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