[实用新型]清洁装置有效
| 申请号： | 202020378049.1 | 申请日： | 2020-03-23 |
| 公开（公告）号： | CN211867470U | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | 郑凯铭 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B53/017;B08B7/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 430074 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洁 装置 | ||
1.一种清洁装置，其特征在于，包括：
第一喷口，用于朝向一待清洁表面喷射清洗液；
第二喷口，用于朝向所述待清洁表面喷射气体，所述清洗液与所述气体混合后形成超临界流体，以去除残留于所述待清洁表面的杂质。
2.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述第一喷口环绕所述第二喷口的外周设置。
3.根据权利要求2所述的清洁装置，其特征在于，包括喷嘴，所述喷嘴包括：喷嘴本体；
第一通道，位于所述喷嘴本体内部，用于与所述第一喷口连通；
第二通道，位于所述喷嘴本体内部，用于与所述第二喷口连通，所述第二通道嵌套于所述第一通道内。
4.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，所述喷嘴还包括：
第一入口，位于所述喷嘴本体背离所述第一喷口的端部，用于向所述第一通道传输所述清洗液，所述第一入口偏离所述喷嘴本体的中心设置；
第二入口，位于所述喷嘴本体背离所述第二喷口的端部，用于向所述第二通道传输所述气体，所述第二入口与所述喷嘴本体的中心对准设置。
5.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述第一喷口与所述第二喷口平行设置，且所述第二喷口位于所述第一喷口的一侧。
6.根据权利要求3所述的清洁装置，其特征在于，还包括：
第一控制阀，安装于所述喷嘴外部，用于调整传输至所述第一通道的所述清洗液的流速。
7.根据权利要求6所述的清洁装置，其特征在于，还包括：
第二控制阀，安装于所述喷嘴外部，用于调整传输至所述第二通道的所述气体的流速。
8.根据权利要求7所述的清洁装置，其特征在于，还包括：
第三控制阀，安装于所述喷嘴外部，用于调整传输至所述第二通道的所述气体的压力。
9.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述第一喷口沿垂直于所述待清洁表面的方向喷射所述清洗液；
所述第二喷口沿相对于所述待清洁表面倾斜的方向喷射所述气体。
10.根据权利要求1所述的清洁装置，其特征在于，所述清洗液为去离子水，所述气体为氮气或者惰性气体。
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