[实用新型]一种半导体圆晶清洗装置有效
| 申请号： | 202020290423.2 | 申请日： | 2020-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN212093424U | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | 钟宇航;卢玲儿;袁红春;刘子义;陈慧妍 | 申请（专利权）人： | 上海海洋大学 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B13/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 上海唯智赢专利代理事务所(普通合伙) 31293 | 代理人： | 韩松;吴瑾瑜 |
| 地址： | 201306 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种半导体圆晶清洗装置，包括顶部开口的箱体，箱体的内壁上开设有两条以上均沿着箱体高度方向布置的条形槽；条形槽的顶部均布置有第一防水电机，第一防水电机的驱动轴与沿条形槽方向布置的丝杆的一端连接且两者共轴，丝杆的另一端与条形槽底部固定，丝杆外与螺母螺纹配合，通过螺母与布置在箱体中部的横板固定连接；横板靠近箱体顶部开口侧开有凹槽，凹槽内设有第二防水电机，第二防水电机与转盘连接，转盘上布置有放置盒，放置盒开有多条用于放置待清洗半导体圆晶的放置槽；箱体内布置有多个用于喷洒清洗液的喷头，箱体底面上开有出液口。本实用新型，清洗质量高，清洗效率高，同时其结构简单，成本低廉，极具应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 半导体 清洗 装置 | ||
【主权项】：
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